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真空度测试仪
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真空度测试仪,均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司开创了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
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